Soft X-ray Projection Imaging Using a Laser Plasma Source
D. A. Tichenor, G. D. Kubiak, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, R. R. Freeman, W. M. Mansfield, O. R. Wood, D. M. Tennant, J. E. Bjorkholm, T. E. Jewell, D. L. White, D. L. Windt, and W. K. Waskiewicz
FC4 Soft X-Ray Projection Lithography (SXRAY) 1991 View: PDF