Development and Characterization of a 10x Schwarzschild System for Soft-X-Ray Projection Lithography
D. A. Tichenor, G. D. Kubiak, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, R. P. Nissen, R. L. Schmitt, G. A. Wilkerson, L. A. Brown, P. A. Spence, P. S. Jin, W. C. Sweatt, W. W. Chow, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, M. D. Himel, A. A. MacDowell, D. M. Tennant, O. R. Wood, W. K. Waskiewicz, D. L. White, D. L. Windt, and T. E. Jewell
TuA.3 Soft X-Ray Projection Lithography (SXRAY) 1993 View: PDF