Progress in the Development of EUV Imaging Systems
D. A. Tichenor, A. K. Ray-Chaudhuri, G. D. Kubiak, K. B. Nguyen, S. J. Haney, K. W. Berger, R. P. Nissen, Y. E. Perras, P. S. Jin, L. I. Weingarten, P. N. Keifer, R. H. Stulen, R. N. Shagam, W. C. Sweatt, T. G. Smith, O. R. Wood, A. A. MacDowell, J. E. Bjorkholm, T. E. Jewell, F. Zernike, B. L. Fix, and H. W. Hauschildt
EWW2 Extreme Ultraviolet Lithography (EUL) 1996 View: PDF