Soft-X-ray Projection Lithography Experiments using Schwarzschild Imaging Optics
D. A. Tichenor, G. D. Kubiak, M. E. Malinowski, R. H. Stulen, S. J. Haney, K. W. Berger, L. A. Brown, W. C. Sweatt, J. E. Bjorkholm, R. R. Freeman, M. D. Himel, A. A. MacDowell, D. M. Tennant, O. R. Wood, J. Bokor, T. E. Jewell, W. M. Mansfield, W. K. Waskiewicz, D. L. White, and D. L. Windt
WA1 Soft X-Ray Projection Lithography (SXRAY) 1992 View: PDF